多晶硅生产中需要什么样的喷漆废气处理

 

在多晶硅生产中，会产生一些废气和残液。目前，我***的喷漆废气处理已达到先进水平，以往的处理技术已提高到更高的水平。

多晶硅是太阳能和微电子工业的关键原料。随着我***太阳能产业的快速发展，对多晶硅的需求日益增加。目前，多晶硅技术处于前所未有的活跃状态。主要有西门子法、冶金法、等离子体法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯技术等。西门子法通过气相沉积法制备柱状多晶硅。为提高原料利用率，采用闭环生产工艺。改进后的西门子工艺生产的多晶硅约占世界多晶硅产能的80%。

***内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。例如，张宇等人通过催化化学气相沉积法制备了多晶硅薄膜。采用m. m. dahl等对流化床中多晶硅的微观结构和颗粒生长进行了研究。此外，多晶硅的生产工艺包括碳热还原法、区域熔融法等。碳热还原法是利用高纯碳还原硅生产多晶硅，区域熔融法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到太阳能级硅。

废气及残液处理

在多晶硅的制备过程中，产生了***量的废气和废液。***内***部分装置通常先用水水解，然后用氢氧化钠中和废气处理和残液处理。

废气净化

氯硅烷分离纯化过程中蒸馏塔排放的废气含有氯硅烷、氮、硅烷、氢、氮、氯、氯化氢的多晶硅还原炉更换清洗气体和多晶硅还原炉排放瓦斯事故,被送到废气洗涤器组,()在盐酸溶液洗涤水、废气的氯硅烷与水反应和删除:

SiHCl3 + 2h2o = SiO2 + 3hcl + H2

SiCl4 HCL + 2 h2o = SiO2 + 4

SiH2Cl2 + 2h2o = SiO2 + 2hcl + H2

废气处理塔***部含氮、氢的废气经液封罐排出，废气处理塔底部含SiO2固体的盐酸溶液泵入工艺废水处理过程。